[특허]Mass sensor and mass sensing method

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01P-015/10
출원번호	US-0925514 (2004-08-25)
우선권정보	JP-0361368 (1997-12-26); JP-0243073 (1997-09-08)
발명자 / 주소	Takeuchi, Yukihisa Ohnishi, Takao Kimura, Koji
출원인 / 주소	NGK Insulators, Ltd.
대리인 / 주소	Burr &
인용정보	피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 11

초록 ▼

A mass sensor in which a connection plate and a diaphragm are joined together at their respective side; a sensing plate is joined to the connection plate at their respective sides in the direction perpendicular to the direction where the diaphragm is joined to the connection plate; a piezoelectric element consisting of a piezoelectric film and an electrode is installed on at least either one of plate surfaces of the sensing plate; and a resonating portion consisting of the diaphragm, the sensing plate, the connection plate, and the piezoelectric element is joined to a sensor substrate. Change in the mass of the diaphragm is measured by measuring change in the resonant frequency of the resonating portion accompanying the change in the mass of the diaphragm.

대표청구항 ▼

1. A method for sensing a mass with a mass sensor having at least one piezoelectric element, in which a connection plate is joined to a diaphragm at respective sides thereof, at least one sensing plate is joined to said connection plate at respective sides thereof in a direction perpendicular to the joining direction of said diaphragm and said connection plate, and wherein at least a portion of at least one side of said connection plate and said sensing plate are joined to a side of a sensor substrate;wherein said piezoelectric element measures a resonant frequency based on at least one of: (a) a θ-mode swing oscillation of said diaphragm, wherein said diaphragm performs a pendular oscillation centered on an axis perpendicularly passing through a center of a fixed plane defined by the joining surface of said connection plate and said sensor substrate in a direction perpendicular to a side of said diaphragm and also perpendicular to said perpendicular axis; or (b) a φ-mode swing oscillation of said diaphragm, wherein said diaphragm performs a pendular oscillation centered on said perpendicular axis, swinging in a direction perpendicular to said side of said diaphragm and also perpendicular to said perpendicular axis accompanied by a swing in a direction parallel to said side of said diaphragm.

이 특허에 인용된 특허 (11)

Peters Rex B. (Woodinville WA) Tonn Jeffrey F. (Tacoma WA) Malametz Arnold (Carnation WA) Hilliker Richard A. (Seattle WA) Corey Victor B. (Bellevue WA), Accelerometer with beam resonator force transducer.
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Beringhause Steven (North Attleboro MA) Mandeville Raymond E. (Cumberland RI) Rolph ; III W. Donald (East Walpole MA), Accelerometer with central mass in support.
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Karube Isao (Tachikawa JPX) Muramatsu Hiroshi (Tokyo JPX), Analytical device and method utilizing a piezoelectric crystal biosensor.
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Yamashita Mitsuhiro,JPX ; Esashi Masayoshi,JPX, Angular rate sensor and acceleration sensor.
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Kindlund Alf R. (Linkping SEX) Lundstrm Kurt I. (Linkping SEX), Gas detector.
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Yukihisa Takeuchi JP; Takao Ohnishi JP; Koji Kimura JP, Mass sensor and mass sensing method.
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Klatt, Alfred, Method and apparatus to automatically determine the weight or mass of a moving vehicle.
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Polla Dennis L. (Brooklyn Park MN) Tamagawa Takashi (Minneapolis MN), Microdevice for sensing a force.
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Eer Nisse Errol P. (Albuquerque NM), Miniature quartz resonator force transducer.
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Miller Cynthia A. ; Tom Glenn M., Piezoelectric sensor for hydride gases, and fluid monitoring apparatus comprising same.
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Giesler Thomas (Saarbruecken DEX) Meyer J.-Uwe (St. Ingbert-Hassel DEX), Sensor having a membrane as part of an electromechanical resonance circuit forming receiver and transmitter converter wi.
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이 특허를 인용한 특허 (1)

Paik,Hong Yul; Choi,Hae Jin; Choi,Gi Hyuk; Kim,Jong Woo; Kim,Youn Kyu, Mass measurement system and method using measurement of frequency shift of vibrator.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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