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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0170307 (2002-06-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 44 |
A method and apparatus is provided for determining substrate drift from its nominal or intended position. The apparatus includes at least two fixed reference points. The reference points can be fixed with respect to the processing tool, or with respect to the end effector. As a robotic arm moves the
1. An apparatus for positioning a substrate, comprising:an end effector configured to transport the substrate along a path; at least one reference mark; at least one camera positioned to capture two images, each image including at least one reference mark and a different portion of an edge of the su
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