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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0316783 (2002-12-11) |
우선권정보 | KR-0080441 (2001-12-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 8 |
To fabricate a magnetic field sensor, a copper barrier film is formed. A magnetic metal film is formed on the barrier film. A plurality of trenches is formed with a desired thickness in the magnetic metal film. A copper film is formed in the plurality of trenches, so that multiple layers of magnetic
1. A method for fabricating a magnetic field sensor having a multi-layer structure, the method comprising the steps of:forming a copper barrier film an a lower layer; forming a magnetic metal film on the copper barrier film; forming a plurality of trenches with a desired thickness in the magnetic me
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