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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0387707 (2003-03-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 44 인용 특허 : 12 |
An adsorption bed arrangement includes a plurality of adsorption elements, a housing, and a gasket member. Each of the adsorption elements has a first adsorptive media and a second adsorptive media, which remove different contaminants from an incoming air stream. For example, the first adsorptive me
1. A method of filtering air for lithography processing, the method comprising:(a) passing an incoming air stream through an adsorption bed, (i) the incoming air stream comprising acidic contaminants, basic contaminants, and non-polar organic contaminants; (ii) the adsorption bed comprising a first
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