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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0181487 (2001-01-19) |
우선권정보 | SE-0000173 (2000-01-21) |
국제출원번호 | PCT//SE01/00087 (2002-10-07) |
§371/§102 date | 20021007 (20021007) |
국제공개번호 | WO01//53889 (2001-07-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 8 |
A metal mold for use in a nano-imprinting process comprises a firmly adhering monomolecular non-sticking layer. The layer was obtained by subjecting the mold to a reaction with a fluoroalkyl compound having a mercapto group. As a result of said reaction, the layer comprises an organic sulfide of sai
1. A metal mold comprising at least one monomolecular non-sticking layer, said layer obtained by reacting the metal mold with at least one fluoroalkyl compound comprising at least one mercapto group, and said layer comprising at least one sulfide of the metal mold as a result of said reaction.2. The
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