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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0327397 (2002-12-19) |
§371/§102 date | 20020408 (20020408) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 261 |
An apparatus for supercritical processing of multiple workpieces comprises a transfer module, first and second supercritical processing modules, and a robot. The transfer module includes an entrance. The first and second supercritical processing modules are coupled to the transfer module. The robot
1. A method of supercritical processing first and second workpieces comprising the steps of:a. transferring the first workpiece from an entrance of a transfer module into a first ante-chamber and from the first ante-chamber into the first supercritical processing module; b. transferring the second w
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