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Pressure sensor apparatus including stems provided with strain measuring arrangement 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01L-009/04
출원번호 US-0437072 (2003-05-14)
우선권정보 JP-0001715 (2002-06-12)
발명자 / 주소
  • Imai, Masahito
  • Hatanaka, Makoto
출원인 / 주소
  • Denso Corporation
대리인 / 주소
    Posz Law Group, PLC
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 4

초록

A first end of each hollow stem includes a diaphragm and a strain gauge, and a second end of each stem includes an opening. A housing includes a plurality of stem receiving through holes, each of which receives the corresponding stem. An O-ring is arranged in each through hole such that the O-ring i

대표청구항

1. A pressure sensor apparatus for testing a device under test, the pressure sensor apparatus comprising:a plurality of hollow stems, each of which includes: a diaphragm that is arranged in a first end of the stem; a strain measuring arrangement that is arranged in the first end of the stem to measu

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Gottlieb, Alfred; Schröder, Martin, Pressure sensor and process for producing the pressure sensor.
  2. Willig Rainer,DEX, Pressure sensor plate having a plurality of measuring diaphragms distributed in a matrix.
  3. Nishida Minoru (Okazaki JPX) Mizuno Naohito (Nishio JPX) Hattori Tadashi (Okazaki JPX) Huzino Seizi (Anjo JPX) Ando Yoshiyasu (Nishio JPX), Semiconductor pressure sensor and method for bonding semiconductor chip to metal diaphragm thereof.
  4. Schliebe Paul M. ; Darnell Charles ; Hornback Edward R. ; Lowman Clark E., Structure for mounting a cluster of pressure sensors upon an electro-hydraulic brake system control unit.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Schlitzkus, Michael; Kopf, Stefan; Rohde, Hartmut; Kaiser, Harry; Muehlbeyer, Peter, Connection unit for a pressure measuring cell.
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