$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Fluid sealing system for a crystal puller 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-015/20
출원번호 US-0465528 (2003-06-19)
발명자 / 주소
  • Cherko, Carl F.
  • Cook, Robert D.
출원인 / 주소
  • MEMC Electronics Materials, Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 15

초록

A fluid sealing system is provided for use in a crystal puller for growing a monocrystalline ingot. The crystal puller has a housing, a fluid flow path contained in the housing, and a fluid passage through a wall of the housing for passage of fluid. The fluid sealing system includes a fluid connecto

대표청구항

1. A fluid sealing system for use in a crystal puller for growing a monocrystalline ingot from molten semiconductor source material, the crystal puller having a housing enclosing a crystal growth chamber, a crucible contained in the growth chamber for holding the molten semiconductor source material

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Nickens Dan A. ; Mattern Charles C., Apparatus and method for controlled penetration of compressed fluid cylinders.
  2. Von Ammon Wilfried (Burghausen DEX) Dornberger Erich (Burghausen DEX) Weidner Herber (Haiming DEX) Pardubitzki Alfred (Burghausen DEX), Apparatus for producing a single crystal.
  3. Inagaki, Hiroshi; Kawashima, Shigeki; Kamogawa, Makoto; Hata, Tadashi, Apparatus for pulling single crystal by CZ method.
  4. Tomioka Junsuke (Hiratsuka JPX) Nagai Kazunori (Miyazaki JPX) Matsuzaki Akihiro (Hiratsuka JPX), Apparatus for pulling up a single crystal.
  5. Jensen Henry E. (Lafayette Hill PA), Battery post seal.
  6. Mitani, Tadahiro, Data reproduction circuit and voice recording reproduction apparatus comprising the circuit.
  7. Ferry, Lee W.; Schrenker, Richard G.; Banan, Mohsen, Heat shield assembly for crystal puller.
  8. Alley David W. (Rte. #1 ; Box 1003 Hemphill TX 75948), Mechanical end face seal.
  9. Nakajima, Hirotaka; Kotooka, Toshirou; Shimanuki, Yoshiyuki; Inagaki, Hiroshi; Kawashima, Shigeki; Kamogawa, Makoto, Method and apparatus for manufacturing single-crystal ingot.
  10. Wilkinson Samuel C. W. (Chichester GB2), Rotary mechanical face seals.
  11. Tomioka Junsuke (Hiratsuka JPX) Nagai Kazunori (Miyasaki JPX) Matsuzaki Akihiro (Hiratsuka JPX), Single crystal pulling apparatus.
  12. Boehringer Wilfred E. (Fullerton CA), Soft seat check valve.
  13. Walker James V. (Redondo Beach CA), Soft seat valve.
  14. Fuse Toshihiko,JPX, Static pressure non-contact gas seal.
  15. Boehringer Wilfred E. (Fullerton CA), Zero leakage valve.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Sasaura, Masahiro; Kohda, Hiroki; Fujiura, Kazuo, Apparatus for producing crystals.
  2. Noda, Akiko; IIda, Tetsuhiro, Semiconductor single crystal production device and producing method therefor.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로