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Wafer carrier with wafer retaining system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/48
출원번호 US-0294475 (2002-11-14)
발명자 / 주소
  • Cheesman, Shawn
  • Eggum, Shawn D.
출원인 / 주소
  • Entegris, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson, Thuente, Skaar &
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 18

초록

In a preferred embodiment of the invention, a wafer retaining arrangement is incorporated into a transport module suitable for 300 mm wafers. The wafer retaining arrangement attaches to an interior of a door of the transport module and includes a framework, and a first and a second plurality of wafe

대표청구항

1. A front opening wafer container for holding a plurality of wafers in a horizontal vertically stacked and spaced arrangement, the container comprising an enclosure portion with an open front and a door to close the open front, the door comprising a wafer cushion extending vertically on an inside s

이 특허에 인용된 특허 (18)

  1. Gallagher Gary M. (440F Autumn Ridge Cir. Colorado Springs CO 80906) Wittman Boyd C. (2707 Northridge Dr. Colorado Springs CO 80918), Actuated rotary retainer for silicone wafer box.
  2. Rissotti Luigi (Vercelli ITX) Morici Moreno (Cameri ITX) Leoni Fabrizio (S-Trecate ITX) Girardi Adriano (Bellinzago ITX), Container for the storage and shipment of silicon disks or wafers.
  3. Hirohata Tatsuaki,JPX ; Betsuyaku Takashi,JPX, Container for transporting precision substrates.
  4. Krampotich Dennis J. ; Kiser D. Kerry, Cushion system for wafer carriers.
  5. Maenke Dale A. (Chaska MN), Cushioned cover for disk container.
  6. Bores Gregory W. ; Zabka Michael C., Cushioned wafer container.
  7. Voss, Jurgen; Dombkowski, Otto; Kudlich, Walter; Stodulka, Jan, Packaging unit for semiconductor wafers.
  8. Dennis J. Krampotich ; D. Kerry Kiser ; Michael D. Peterson, Seal for wafer containers.
  9. McCarthy Bruce L. (Woollahra AUX) Dunn Karl M. (Castle Hill AUX), Sealing method.
  10. Johnson Douglas M. (Waconia MN), Shipping container for silicone semiconductor wafers.
  11. Nyseth David L., Wafer carrier.
  12. Nyseth David L., Wafer carrier with door.
  13. Ohori Shinichi,JPX, Wafer cassette in wafer carrier.
  14. Yoshiaki Fujimori JP; Masato Takahashi JP, Wafer container box.
  15. Kos Robert D. (Victoria MN), Wafer cushion for shippers.
  16. Nyseth David L. (Plymouth MN), Wafer cushions for wafer shipper.
  17. Wu, Tzong-Ming; Hsieh, Chih-Lun; Ho, Tien-Lu, Wafer retainer.
  18. Gregerson Barry (Chanhassen MN), Wafer suspension box.

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. James, Frankie; Tay, Kwok Lim, Disk placement and storage assembly with disk cassette and disk slotter.
  2. Narita, Shoriki; Ishida, Kenichi; Hirata, Shuichi; Shida, Satoshi, Receiver for component feed plates and component feeder.
  3. Ogawa, Osamu, Retainer and substrate storage container.
  4. Wiseman, Brian, Reusable resilient cushion for wafer container.
  5. Inoue, Kazuya, Semiconductor wafer container.
  6. Hasegawa,Akihiro; Mimura,Hiroshi, Substrate storage container.
  7. Matsutori,Chiaki; Oyama,Takaharu, Thin plate storage container and lid having at least one thin plate supporting member.
  8. Halbmaier,David L., Wafer container door with particulate collecting structure.
  9. Gregerson, Barry, Wafer container with door mounted shipping cushions.
  10. Lu, Shao-Wei; Lu, Pao-Yi; Wang, Chien-Feng, Wafer container with elasticity module.
  11. Lin, Chin-Ming; Pan, Kuan-Lun, Wafer container with restrainer.
  12. Raschke, Russ V.; Gregerson, Barry; Steffens, Jason Todd, Wafer shipper.
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