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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0988540 (2004-11-16) |
우선권정보 | JP-0139143 (1997-05-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 18 |
A substrate transfer apparatus capable of preventing contaminants from sticking to a substrate again when the substrate is unloaded, wherein a first support member and a second support member are provided on an arm, the first support member supporting the substrate when the substrate is loaded into
1. A substrate transfer method of transferring a substrate supported by a moving arm to a processing machine, the method comprising:disposing on a top surface of the arm a plurality of support sets each including a first support member and a second support member to support the substrate, the first
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