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특허 상세정보

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Fuel-cell resistors and methods

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) H05B-003/02   
미국특허분류(USC) 219/538; 219/541; 219/544; 219/548
출원번호 US-0339737 (2003-01-08)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 7
초록
▼

A thermally efficient resistive heater assembly for heating a source substance for generation of gas has a chamber for containing the source substance, a thin resistive heating element suspended across an aperture and disposed for immersion in the source substance, and conductive traces electrically coupled to the thin resistive heating element. The resistive heater assembly may be fabricated by a specially adapted method including providing a first substrate layer, bonding to it a second substrate layer, the second substrate layer bearing the resistive ...

대표
청구항
▼

1. A resistive heater assembly for heating a source substance for generation of gas from the source substance, the resistive heater assembly comprising:a) a first substrate layer;b) a second substrate layer, a resistive heating element, and conductive traces electrically coupled to the resistive heating element, the second substrate layer bearing the resistive heating element and the conductive traces, and the second substrate layer being bonded to the first substrate layer;c) a hydrophobic layer bonded to the second substrate layer; andd) a top layer bo...

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Donald C. Mayer ; Jon V. Osborn ; Siegfried W. Janson ; Peter D. Fuqua. Addressable diode isolated thin film array. USP2002086437640.
  2. Winsel August (D-Fasanenstr. 8 a D-6233 Kelkheim DEX). Device for electrochemical generation of gases for the transportation of fluids and similar mediums. USP1993095242565.
  3. Donald C. Mayer ; Jon V. Osborn ; Siegfried W. Janson ; Peter D. Fuqua. Diode isolated thin film fuel cell array addressing method. USP2002066403403.
  4. Isen Irvin ; Kucherovsky Joseph. Electrical circuit component formed of a conductive liquid printed directly onto a substrate. USP1998065763058.
  5. Seijirau Suda JP. Method for generation of hydrogen gas. USP2002036358488.
  6. Warburton, P. Richard. Method of testing gas detection instruments and associated apparatus. USP2003106632674.
  7. Joshi Ashok V. ; Gordon John H. ; McEvoy John J.. Storage-stable, fluid dispensing device using a hydrogen gas generator. USP1998015707499.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 18

  1. Gaff, Keith William; Singh, Harmeet; Comendant, Keith; Vahedi, Vahid. Adjusting substrate temperature to improve CD uniformity. USP20180810056225.
  2. Gaff, Keith William; Singh, Harmeet; Comendant, Keith; Vahedi, Vahid. Adjusting substrate temperature to improve CD uniformity. USP2014028642480.
  3. Pease, John; Benjamin, Neil. Current peak spreading schemes for multiplexed heated array. USP2014088809747.
  4. Fisher, Allison M.; Zheng, Guanghong; Stimits, Jason L.; Law, Chad E.; Barton, Russell H.; Langan, Richard A.; Kmetich, Thomas J.; Zsigo, Gerald A.. Fuel unit, gas generator and system. USP2017079695043.
  5. Singh, Harmeet; Gaff, Keith; Benjamin, Neil; Comendant, Keith. Heating plate with heating zones for substrate processing and method of use thereof. USP2017059646861.
  6. Singh, Harmeet. Heating plate with planar heater zones for semiconductor processing. USP2014038680441.
  7. Singh, Harmeet. Heating plate with planar heater zones for semiconductor processing. USP2013108546732.
  8. Singh, Harmeet; Gaff, Keith; Benjamin, Neil; Comendant, Keith. Heating plate with planar heater zones for semiconductor processing. USP2016079392643.
  9. Singh, Harmeet; Gaff, Keith; Benjamin, Neil; Comendant, Keith. Heating plate with planar heater zones for semiconductor processing. USP2014118884194.
  10. Singh, Harmeet; Gaff, Keith; Benjamin, Neil; Comendant, Keith. Heating plate with planar heating zones for semiconductor processing. USP2014018637794.
  11. Vandayburg, Mark D.. Hydrogen generator. USP2014118877137.
  12. Singh, Harmeet. Methods of fault detection for multiplexed heater array. USP2014078791392.
  13. Pease, John; Benjamin, Neil. Multiplexed heater array using AC drive for semiconductor processing. USP2017099775194.
  14. Pease, John; Benjamin, Nell. Multiplexed heater array using AC drive for semiconductor processing. USP2016049324589.
  15. Gaff, Keith William; Anderson, Tom; Comendant, Keith; Lu, Ralph Jan-Pin; Robertson, Paul; Pape, Eric A.; Benjamin, Neil. Power switching system for ESC with array of thermal control elements. USP20180810049948.
  16. Singh, Harmeet; Gaff, Keith; Benjamin, Neil; Comendant, Keith. Substrate supports with multi-layer structure including independent operated heater zones. USP20190310236193.
  17. Pease, John. System and method for monitoring temperatures of and controlling multiplexed heater array. USP2017079713200.
  18. Pease, John. System and method for monitoring temperatures of and controlling multiplexed heater array. USP2016049307578.

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