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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0378502 (1999-08-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 16 |
A method of depositing a metal or other desired material onto a substrate using a gas generated via the sublimation of solid material precursors, wherein a sold precursor is introduced into a liquid in a bubbler apparatus so that the bubbler then contains vapors of solid precursor, and then sweeping
Having thus described our invention, what we claim as new and desire to secure by Letters Patent is as follows: 1. A method of an improved delivery system for gases generated via the sublimation of solid material precursors comprising: introducing a solid powder precursor into a liquid bubbler appa
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