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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0690431 (2003-10-20) |
우선권정보 | JP-11-142049(1999-05-21); JP-2000-150341(2000-05-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 10 |
A ultra fine particle film forming apparatus is provided which is capable of forming a ultra fine particle film which has ultra fine particles sufficiently bonded together, sufficient density, flat surface and uniform density. A planarized ultra fine particle film forming method for forming a planar
What we claim are: 1. A planarized ultra fine particle film forming method for forming a planarized ultra fine particle film from a deposited film of ultra fine particles formed by supplying the ultra fine particles to a substrate, the method comprising a planarizing step of planarizing a surface o
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