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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0623244 (2003-07-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 11 |
A thermopile-based detector for monitoring and/or controlling semiconductor processes, and a method of monitoring and/or controlling semiconductor processes using thermopile-based sensing of conditions in and/or affecting such processes.
What is claimed is: 1. A method of operating a semiconductor process including processing of or with a gas, said method comprising transmitting infrared radiation through the gas for infrared radiation absorbance by a desired component of said gas, detecting the infrared radiation transmitted throu
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