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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0062532 (2005-02-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 20 |
A method for controlling the delivery of vapor from a bubbler containing a supply of chemical fluid through which a carrier gas is bubbled and from which bubbler vapors are delivered in a vapor stream entrained with the carrier gas. In general, the method involves equilibrating the pressure within t
I claim: 1. A method of controlling the level of reagent in a bubbler comprising: providing a bubbler containing a quantity of reagent which is in fluid communication with a process tool; providing a reservoir which contains a quantity of the reagent which is in fluid communication with the bubbler
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