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Methods for forming a calibration standard and calibration standards for inspection systems

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-021/88
출원번호 US-0185308 (2002-06-27)
발명자 / 주소
  • Smith,Ian
  • Wolters,Christian
  • Guan,Yu
  • Brayton,Don
출원인 / 주소
  • KLA Tencor Technologies Corp.
대리인 / 주소
    Daffer McDaniel, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 7

초록

Methods for forming calibration standards for an inspection system and calibration standards are provided. One method includes scanning a first and a second specimen with an optical system. Master standard particles having a lateral dimension traceable to a national or international authority or fir

대표청구항

What is claimed is: 1. A method for forming a calibration standard for an inspection system, comprising: scanning a first specimen with an optical system, wherein master standard particles having a traceable lateral dimension are deposited on the first specimen; scanning a second specimen with the

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Bates Eugene C. (Ft. Mill SC) Ferrara Michael B. (Charlotte NC), Calibration standard for calibrating a defect inspection system and a method of forming same.
  2. Bindell Jeffrey Bruce ; Schrope Dennis Earl ; Stevie Fred Anthony ; Dare Richard J. ; Plew Larry E., Linewidth metrology of integrated circuit structures.
  3. Haavig, David L.; Lorden, Gary, Method and apparatus for rapid particle identification utilizing scattered light histograms.
  4. Girvin Kenneth L. ; DeFreez Richard K., Particles counting apparatus and method having improved particle sizing resolution.
  5. Stover John C. ; Scheer Craig A., Process for particle size measurement.
  6. Scheer Bradley W. (Sunnyvale CA), Test wafer for an optical scanner.
  7. Eccleston Larry E. (Edmonds WA) Carson Daniel B. (Bothell WA), Voltage and resistance synthesizer using pulse width modulation.

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Robertson, Michael C., Consumable downhole tool.
  2. Clayton, Robert P.; Berscheidt, Kevin; Robertson, Michael C., Consumable downhole tools.
  3. Clayton, Robert Preston; Berscheidt, Kevin; Robertson, Michael C., Consumable downhole tools.
  4. Swor, Loren C.; Wilkinson, Brian K.; Robertson, Michael C., Consumable downhole tools.
  5. Swor, Loren Craig; Wilkinson, Brian Keith, Consumable downhole tools.
  6. Guan, Yu, Determination of absolute dimensions of particles used as calibration standards for optical measurement system.
  7. Huang, Pong-Wey; Liu, Hsi-Hua; Wang, Chia-Jen; Lei, Shuen-Cheng; Huang, Huai-Te; Huang, Jen-Po, Method and pattern carrier for optimizing inspection recipe of defect inspection tool.
  8. Wang, Eugene; Chen, Yu, Method and system for calibrating measurement tools for semiconductor device manufacturing.
  9. Laube, Frank, Method for monitoring the operational state of a surface inspection system for detecting defects on the surface of semiconductor wafers.
  10. Robertson, Michael C., Method for removing a consumable downhole tool.
  11. Swor, Loren C.; Starr, Phillip M.; Smith, Don R.; Wilkinson, Brian K., Method for removing a consumable downhole tool.
  12. Tilghman, Stephen E., Method for removing a sealing plug from a well.
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