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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0797117 (2004-03-11) |
우선권정보 | JP-2003-075017(2003-03-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 18 |
A capacitive humidity sensor includes a detection portion and a reference portion. The detection portion includes detection electrodes and a moisture sensitive film. The reference portion includes reference electrodes and a moisture permeation film as a capacitance adjusting film. The capacitive hum
The invention claimed is: 1. A capacitive humidity sensor, comprising: a semiconductor substrate; a detection portion including: a pair of detection electrodes disposed to oppose each other on the semiconductor substrate; and a moisture sensitive film disposed on the pair of detection electrodes, s
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