최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0335968 (2003-01-02) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 73 |
A facilities connection box is provided to accommodate pre-plumbing of facilities lines required in connection with an installation of semiconductor device manufacturing equipment. The facilities connection box accommodates termination of double-containment facilities lines that are adapted to carry
The invention claimed is: 1. A facilities connection box adapted to couple double-containment lines to semiconductor device manufacturing equipment, comprising: an enclosure; a first isolation compartment defined inside the enclosure; a second isolation compartment defined inside the enclosure;
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.