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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0323882 (2002-12-20) |
우선권정보 | KR-2002-14998(2002-03-20); KR-2002-15077(2002-03-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 44 |
Stage structure in a bonding machine including a plate movably fitted in a bonding chamber, a plurality of blocks of electro-static chucks fitted to the plate for providing an electro-static force to hold a substrate, a plurality of vacuum holes in the plate around the electro-static chucks for rece
What is claimed is: 1. A stage structure in a bonding machine comprising: at least one plate fitted in a bonding chamber; a plurality of blocks of electro-static chucks fitted to the at least one plate for providing an electro-static force to hold a substrate; a plurality of vacuum holes in the at
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