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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0319417 (2002-12-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 22 |
Undercladding and uppercladding layers that form part of an optical waveguide are deposited with a thermal CVD technique. The optical waveguide has a structure in which optical cores are formed over the undercladding layer and in which the uppercladding layer is formed over and between the optical c
What is claimed is: 1. A method for forming an optical waveguide, the method comprising: providing a gaseous mixture to a chamber at a pressure substantially between 100 torr and 800 torr; depositing an undercladding layer over a substrate with the gaseous mixture using thermal chemical-vapor depos
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