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특허 상세정보

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Flow rate control device

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G05D-007/06   
미국특허분류(USC) 137/487.5; 137/486; 137/613; 700/019; 700/282
출원번호 US-0783636 (2004-02-20)
우선권정보 JP-2003-045835(2003-02-24)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 1
초록
▼

To control a flow rate ranging from an extremely-low rate to a high rate, particularly, to control an extremely-low flow rate accurately, the following processes are executed. A regulator, a flow rate adjustment valve connected in series downstream of the regulator and adjusting a valve opening of its valve provided to a passage, and a flow rate sensor are provided. A regulator controlled degree and a valve opening controlled degree of the flow rate adjustment are found in accordance with a detection value and a target flow rate value to control the flow...

대표
청구항
▼

What is claimed is: 1. A flow rate control device comprising: a regulator for reducing a pressure of a supplied liquid; a flow rate adjustment valve for adjusting an opening degree of its valve provided to a passage, the flow rate adjustment valve being connected in series downstream of the regulator; a flow rate sensor for detecting a flow rate of the liquid; and a control portion for controlling the regulator by finding a regulator controlled degree in accordance with a detection value of the flow rate sensor and a target flow rate value, and for con...

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Waldbusser Edwin. Mass flow controller having automatic pressure compensator. USP2000106138708.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 15

  1. Smirnov, Alexei V.. Adaptive response time closed loop control algorithm. USP2009107603186.
  2. Sawada, Yohei; Ikeda, Nobukazu; Dohi, Ryousuke; Nishino, Kouji. Apparatus for dividing and supplying gas and method for dividing and supplying gas by use of this apparatus. USP2016029261884.
  3. Schwaiger, Michael; Goller, Alois; Miggitsch, Christopher. Apparatus for liquid treatment of work pieces and flow control system for use in same. USP2015099146007.
  4. Ahmad, Anis; Huisenga, Garrie David. Diagnostics for mass flow control. USP2010047693606.
  5. Sugata, Kazuhiro; Kato, Takashi. Flow rate control device. USP2014108869825.
  6. Okabe, Tsuneyuki; Moriya, Shuji; Matsuno, Kazushige. Flow rate controller and processing apparatus. USP2014118893743.
  7. Khoshnevis, Behrokh. Fluid metering device using free-moving piston. USP2014108863773.
  8. Minervini, Leo; Mrozinski, Daniel W.. Knowledge based valve control method. USP2012098265794.
  9. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Gonnella, George; Gashgaee, Iraj; Marrs, Jennifer. Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system. USP2009067543596.
  10. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Gonnella, George; Gashgaee, Iraj; Marrs, Jennifer. Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system. USP2013048430120.
  11. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Gonnella, George; Gashgaee, Iraj; Marrs, Jennifer. Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system. USP2015018939428.
  12. Smirnov, Alexei V.. Multi-mode control algorithm. USP2009127640078.
  13. Bordwell, David A.; McMichael, Jonathan R.; Vo, Thomas V.. Plural component proportioning system and method. USP20181210162370.
  14. Newman, David Roy; Phillips, Paul Anderson. Systems and methods for monitoring and controlling the dispense of a plurality of product forming ingredients. USP2016119499382.
  15. Dohi, Ryousuke; Nishino, Kouji; Sawada, Yohei; Ikeda, Nobukazu. Variable orifice type pressure-controlled flow controller. USP2016119507352.

IPC 상위 출원인