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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0366088 (2006-03-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 10 |
One embodiment of the invention relates to a microdevice package containing getters for maintaining a constant vacuum level within the sealed microdevice package. A stacked wafer assembly, containing a plurality of microdevice packages, is formed by aligning a bottom cover wafer with a center wafer.
What is claimed is: 1. A method for fabricating a vacuum package comprising: arranging a bottom cover wafer under a center wafer, the bottom cover wafer including one or more bond pads to receive one or more getters, the center wafer including one or more vias substantially aligned and correspondin
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