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Plasma-accelerator configuration 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-007/24
  • H01J-007/00
  • H05B-031/26
  • H05B-031/00
출원번호 US-0481778 (2002-06-24)
우선권정보 DE-101 30 464(2001-06-23)
국제출원번호 PCT/EP02/006950 (2002-06-24)
§371/§102 date 20040517 (20040517)
국제공개번호 WO03/000550 (2003-01-03)
발명자 / 주소
  • Kornfeld,G체nter
  • Schwertfeger,Werner
  • Lenz,Roland
  • Coustou,Gregory
출원인 / 주소
  • Thales Electron Devices GmbH
대리인 / 주소
    Collard &
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 22

초록

The invention relates to various advantageous embodiments of a plasma-accelerator configuration, especially for the configuration and design of electron sources used for ionizing the working gas and/or neutralizing the discharged plasma jet.

대표청구항

The invention claimed is: 1. Plasma accelerator configuration for emission of an accelerated plasma beam in a longitudinal direction, having a plasma chamber delimited laterally by a chamber wall, between an anode and an acceleration electrode arranged at the plasma beam exit from the plasma chambe

이 특허에 인용된 특허 (22)

  1. Semenkin Alexander V.,RUX ; Garkusha Valerii I.,RUX ; Tverdokhlebov Sergey O.,RUX ; Lyapina Nadezhda A.,RUX, Accelerator with closed electron drift.
  2. Sakai Katsuhiko (Mito JPX) Nasu Osamu (Katsuta JPX) Ose Yoichi (Mito JPX), Apparatus and method for ion beam neutralization.
  3. Ito Masao (Kitakami JPX), Apparatus for performing plasma process on semiconductor wafers and the like and method of performing plasma process.
  4. Kaufman Harold R. (Laporte CO) Robinson Raymond S. (Fort Collins CO), Capacitively coupled radiofrequency plasma source.
  5. Yevgeny Raitses ; Nathaniel J. Fisch, Cylindrical geometry hall thruster.
  6. Araki Youichi (Nirasaki JPX) Nagaseki Kazuya (Yamanashi-ken JPX) Mochizuki Shuji (Kofu JPX), Electron beam excited plasma system.
  7. Reader Paul D. (Fort Collins CO) Kaufman Harold R. (Fort Collins CO), Electron-bombardment ion sources.
  8. Walther Stephan,DEX, Electrostatic propulsion engine with neutralizing ion source.
  9. Beattie John R. ; Goswitz Philip J., Electrostatic propulsion systems and methods.
  10. Yashnov Y M,RUX ; Petrosov V A,RUX ; Baranov V I,RUX ; Vasin A I,RUX, Hall effect plasma accelerator.
  11. Hruby Vladimir J., Hall field plasma accelerator with an inner and outer anode.
  12. Sferlazzo Piero (Lynnfield MA) McIntyre ; Jr. Edward K. (Franklin MA) Reynolds William E. (Topsfield MA) Cloutier Richard M. (Salisbury MA) Horsky Thomas N. (Boxborough MA), Ion generating source for use in an ion implanter.
  13. Nagayama Takahisa (Amagasaki JPX) Fujishita Naomitsu (Amagasaki JPX) Noguchi Kazuhiko (Amagasaki JPX) Murakami Hidenobu (Amagasaki JPX), Ion source having plasma chamber, an electron source, and a plasma power supply.
  14. Chen Jiong (Beverly MA) Benveniste Victor M. (Gloucester MA), Method and apparatus for ion beam neutralization.
  15. Adamski John L. (Bothell WA), Multi-stage collective field charged particle accelerator.
  16. Kornfeld, Günter; Schwertfeger, Werner, Plasma accelerator arrangement.
  17. Kornfeld, Gunter; Wegener, Jurgen; Seidel, Harald, Plasma accelerator arrangement.
  18. Arkhipov Boris A.,RUX ; Egorov Vitaly V.,RUX ; Kim Vladimir,RUX ; Kozlov Vyacheslav I.,RUX ; Maslennikov Nicolay A.,RUX ; Khartov Sergei A.,RUX, Plasma accelerator with closed electron drift and conductive inserts.
  19. King Michael C. ; Blake Julian G. ; Rose Peter H., Plasma chamber for controlling ion dosage in ion implantation.
  20. Burton Rodney L. (Fairfax Station VA) Goldstein Yeshayahu S. A. (Gaithersburg MD) Tidman Derek A. (Silver Spring MD) Winsor Niels K. (Alexandria VA), Pulsed electrothermal thruster.
  21. Burton Rodney L. (Fairfax Station VA) Goldstein Yeshayahu S. A. (Gaithersburg MD) Tidman Derek A. (Silver Spring MD) Winsor Niels K. (Alexandria VA), Pulsed electrothermal thruster.
  22. Fisch, Nathaniel J.; Raitses, Yevgeny, Segmented electrode hall thruster with reduced plume.

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Harmann, Hans-Peter; Koch, Norbert; Clages, Mathias, Device for conducting away lost heat, as well as ion accelerator arrangement having such a device.
  2. Hey, Franz Georg; Kornfeld, Guenter; Johann, Ulrich, Discharge chamber of an ion drive, ion drive having a discharge chamber, and a diaphragm for being affixed in a discharge chamber of an ion drive.
  3. Harmann, Hans-Peter; Koch, Norbert; Kornfeld, Guenter, Drive arrangement in a spacecraft.
  4. Koch, Norbert, Electrostatic ion accelerator arrangement.
  5. Harmann, Hans-Peter; Koch, Norbert; Kornfeld, Guenter, High-voltage insulator arrangement and ion accelerator arrangement having such a high-voltage insulator arrangement.
  6. Hagseth, Paul E.; McClure, Paul D., Inlet electromagnetic flow control.
  7. Kornfeld,G?nter; Coustou,Gregory; Koch,Norbert, Ion accelerator arrangement.
  8. McClure, Paul D.; Chase, Charles J., Over-wing traveling-wave axial flow plasma accelerator.
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