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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0164916 (2002-06-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 14 |
Using coated carbon black particles, coated with a selected coating material, as an abrasive in slurries or polishing pads for chemical-mechanical polishing processes. By adjusting the coating material on the carbon black particles, new abrasive particles for chemical-mechanical polishing are create
I claim: 1. A chemical-mechanical polishing slurry comprising abrasive particles dispersed in an aqueous medium wherein the abrasive particles are carbon black coated with a coating material, and wherein the coating material is a metal oxide, the slurry further including at least one ingredient sel
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