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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0060988 (2005-02-18) |
우선권정보 | JP-9-243073(1997-09-08); JP-9-361368(1997-12-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 13 |
A mass sensor in which a connection plate and a diaphragm are joined together at their respective sides; a sensing plate is joined to the connection plate at their respective sides in the direction perpendicular to the direction where the diaphragm is joined to the connection plate; a piezoelectric
The invention claimed is: 1. A method for sensing a mass with a mass sensor comprising the steps of: providing a mass sensor comprising a sensor substrate having one of a depression and a through-hole formed therein, a diaphragm extending from a first side thereof to a second side thereof in a firs
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