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Reaction apparatus

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-051/04
  • B65D-051/00
  • F16J-013/16
  • F16J-013/00
  • H01L-021/00
  • C23C-014/00
출원번호 US-0802926 (2004-03-18)
우선권정보 KR-10-2003-0039822(2003-06-19)
발명자 / 주소
  • Choi,Jin hyuk
  • Kam,Do young
  • Kim,Jung wook
  • Lee,Suk chan
출원인 / 주소
  • Samsung Electronics Co., Ltd.
대리인 / 주소
    Staas &
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 14

초록

A reaction apparatus including: a main body having a reaction chamber with an upper opening thereof, a lid hinge, and a lid combined to the lid hinge, rotationally opening and closing the upper opening; a lifting member having a first end part separated from a rotation axis of the lid and rotatably

대표청구항

What is claimed is: 1. A reaction apparatus, comprising: a main body having a reaction chamber with an upper opening thereof, a lid hinge, and a lid combined to the lid hinge, rotationally opening and closing the upper opening; a lifting member having a first end separated from a rotation axis of

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Bird Harry L. (Red Hook NY) Sutherland David T. (Woodstock NY), Adjustable door arrangement for a vacuum chamber.
  2. Dalpane Luigi (Chiavari ITX), Automatic servo-controlled valve with high-speed opening.
  3. Pendlebury James L. (36 Carr Dr Barrie ; Ont CAX L4N 6M9), Automatic toilet seat and lid lowering device.
  4. Jones Clifford D., Automatic toilet seat closing device.
  5. Pang, Lily L.; Cho, Thomas K.; Ishikawa, Tetsuya, Chemical vapor deposition chamber lid assembly.
  6. Perry Cliff R. (934 S. 259th Pl. Federal Way WA 98003), Cover for a hot tub or the like.
  7. O'Brian Woody V., Cover system for truck containers.
  8. Joseph Tiszai, Lateral fryer lid lifting apparatus.
  9. Rosenstein, Michael; Shenderovich, Alex; Schweitzer, Marc O.; Lavitsky, Ilya; Lau, Alvin; Feltsman, Michael, Motorized chamber lid.
  10. Naehring Herbert (Rodenbach DEX), Pivoting air lock for a treatment chamber.
  11. Lei Lawrence ; Trinh Son ; Tzu Gwo-Chuan ; Johnson Mark, Pivoting lid assembly for a chamber.
  12. Zila Vladimir,CAX ; Berner Robert W. ; Woodruff Daniel J., Processing head for semiconductor processing machines.
  13. Suzuki Naokazu,JPX, Semi-automatic closing device for seat lid of toilet bowl.
  14. Chin-Kun Liu TW; Pang-Cheng Liu TW; Tzu-Hsin Huang TW; Bruse Lee TW, Upper lid alignment apparatus for hatchback reaction cabin.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Pei, Shao-Kai, Apparatus to process coating material using flame nozzle and evaporation deposition device having same.
  2. Tran, Binh; Cui, Anqing; Hwang, Bernard L.; Nguyen, Son T.; Nguyen, Anh N.; Seutter, Sean M.; Tao, Xianzhi, CVD apparatus for improved film thickness non-uniformity and particle performance.
  3. Sexton, Greg, Plasma processing assemblies including hinge assemblies.
  4. Lim, Kun-Young; Kim, Do-Hyung; Lee, Ju-Ill, Substrate processing apparatus and method of disassembling and assembling the same.
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