최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0756631 (2004-01-12) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 69 |
An end effector has one or more vortex chucks to support a wafer, and at least two detectors for detecting different portions of the wafer before the wafer is picked up. If one of the detectors detects a wafer and the other one does not, an alarm is generated to alert an operator that the wafer is p
What is claimed is: 1. An end-effector operable to pick up and support flat objects extending generally alone a plane, the end-effector comprising: (1) a first detector mounted at a first side of the end-effector and comprising: a first detector component for emitting a first light beam at an angle
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.