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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0699873 (2003-11-04) |
우선권정보 | JP-10-136145(1998-04-30); JP-10-136146(1998-04-30); JP-10-136149(1998-04-30); JP-10-136150(1998-04-30); JP-10-136153(1998-04-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 12 |
An optical imprinting apparatus, and a method for producing a two-dimensional pattern, have line widths less than the wavelength of an exposure light. The evanescent (proximity) field effect is adopted to realize the apparatus and method. An optical imprinting apparatus comprises a container in whic
What is claimed is: 1. A method for evanescent-field-assisted imprinting, comprising: placing a proximity field exposure pattern on a section of a container in which light is enclosed; aligning a fabrication object having a photo-sensitive film thereon in proximity of said proximity field exposure
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