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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0814260 (2001-03-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 46 |
Semiconductor processor systems, systems configured to provide a semiconductor workpiece process fluid, semiconductor workpiece processing methods, methods of preparing semiconductor workpiece process fluid, and methods of delivering semiconductor workpiece process fluid to a semiconductor processor
The invention claimed is: 1. A semiconductor workpiece processing method comprising: providing a semiconductor processor system having a process chamber adapted to process a semiconductor workpiece; processing the semiconductor workpiece within the process chamber using a process fluid; monitoring
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