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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0756978 (2004-01-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 6 |
A template for imprint lithography (IL) that reduces significantly template production costs by allowing the same template to be re-used for several technology generations. The template is composed of an array of spaced-apart moveable and individually addressable rods or plungers. Thus, the templat
We claim: 1. A template for imprint lithography comprising a two-dimensional array of spaced-apart plungers arranged on a surface, wherein the plungers are each individually addressable and actuated to move in a vertical direction and wherein the plungers comprise a plunger and capping wafer; and a
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