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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0402286 (2003-03-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 7 |
A system for protecting wafers from damage caused by an inaccurately-positioned wafer transfer robot blade during the transfer of wafers typically from a wafer cassette to a processing tool. The wafer protection system includes a conductor foil which is electrically separated from the robot blade th
What is claimed is: 1. A system for protecting a substrate from damage including cracking, chipping and/or abrasion by an inaccurately-positioned robot blade of a transfer robot, comprising: a conductor foil for mounting on the robot blade in normally electrical isolation with respect to the robot
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