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Micromechanical latching switch

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01H-037/52
  • H01H-037/00
  • H02N-002/00
  • F24C-015/24
  • F24C-015/00
출원번호 US-0766451 (2004-01-27)
발명자 / 주소
  • Greywall,Dennis S.
출원인 / 주소
  • Lucent Technologies Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 8

초록

A micro-electrical-mechanical-switch (MEMS) device comprises a semiconductor wafer, a first semiconductor layer formed on the semiconductor wafer, and a second semiconductor layer formed on the first layer. A first latching movable shuttle is formed in the second layer and has the first layer remove

대표청구항

I claim: 1. A micro-electrical-mechanical-switch, MEMS, monolithic semiconductor device comprising a semiconductor wafer, a first dielectric layer formed on the semiconductor wafer, and a second semiconductor layer formed on the first layer; a first latching movable shuttle formed in the second lay

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Cunningham, Shawn Jay, Electrothermal self-latching MEMS switch and method.
  2. Carr William N., Latching microaccelerometer.
  3. Yao Jun J. ; Park Sangtae, Method of fabricating suspended single crystal silicon micro electro mechanical system (MEMS) devices.
  4. Robinson, Charles H., Microelectromechanical system (MEMS) safe and arm apparatus.
  5. Robinson Charles H., Microelectromechanical systems (MEMS) -type devices having latch release and output mechanisms.
  6. Robinson, Charles H.; Wood, Robert H.; Hoang, Thinh Q., Miniature MEMS-based electro-mechanical safety and arming device.
  7. Josse Alain P. (Saint Medard en Jalles FRX), Pyrotechnic priming device having a microlens set by a shape memory material and pyrotechnic chain utilizing said device.
  8. Robinson Charles H. ; Wood Robert, Ultra-miniature, monolithic, mechanical safety-and-arming (S&A) device for projected munitions.

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Froemel, Joerg; Gessner, Thomas; Kaufmann, Christian; Leidich, Stefan; Nowack, Markus; Kurth, Steffen; Bertz, Andreas; Ikeda, Koichi; Akiba, Akira, Electrostatically actuated micro-mechanical switching device.
  2. Jean,Daniel L., MEMS resettable timer.
  3. Greywall,Dennis S., MEMS safety and arming devices having launch and rotation interlocks and method of manufacturing the same.
  4. Roesler, Alexander W., Microelectromechanical safe arm device.
  5. Olson, David A.; Jean, Daniel L.; Laib, Gerald R., Microelectromechanical systems ignition safety device.
  6. Hoang, Thinh Q.; Robinson, Charles H.; Wood, Robert H.; Knight, Ryan R.; Barham, Oliver M., Non-inertial safe and arm device.
  7. Greywall, Dennis S., Safety and arming device for high-G munitions.
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