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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0734361 (2003-12-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 5 |
A method of manufacture of magnetic heads which include CoFe elements using CMP is presented. The method includes providing a slurry of Al2O3, adjusting the concentration of H 2O2 in said slurry to within a range of 6-12% by volume and balancing mechanical polishing action. The balancing is done by
What is claimed is: 1. A method of manufacture of magnetic heads which include CoFe elements using CMP, comprising: A) providing magnetic heads which include CoFe elements; B) providing a slurry including Al2O3 and H2O2; C) adjusting the concentration of H2O2 in said slurry to within a range of 6-
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