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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0228625 (2002-08-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 17 |
A material handling and transport system and process for moving a substrate carrier between storage and processing destinations are provided. The system includes a vehicle that runs on a support structure, such as a pathway or a track assembly supported on the floor, which may be in a pressurized tu
What is claimed is: 1. A process for transporting a carrier between storage and processing destinations and for handling the carrier at the destinations, comprising: transporting the carrier along a support structure on a vehicle; stopping the carrier adjacent a selected destination; lifting the ca
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