최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0023328 (2004-12-27) |
우선권정보 | KR-10-2003-0097293(2003-12-26) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 11 |
A temperature controller for a semiconductor-fabricating tool includes a Peltier element disposed on an outer wall of the semiconductor-fabricating tool, and a battery for providing a current to the Peltier element. The Peltier element a heat-emitting plate for emitting heat by the current provided
What is claimed is: 1. A temperature controller for a semiconductor-fabricating tool comprising: a Peltier element mounted on an outer wall of the semiconductor-fabricating tool, the Peltier element simultaneously emitting and absorbing heat; a battery for providing a current to the Peltier element
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.