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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0005495 (2004-12-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 99 |
Contaminants such as photoresist are quickly removed from a wafer having metal features, using water, ozone and a base such as ammonium hydroxide. Processing is performed at room temperature to avoid metal corrosion. Ozone is delivered into a stream of process liquid or into the process environment
The invention claimed is: 1. A method for cleaning at least one workpiece, comprising: placing the workpiece into a chamber; spraying a liquid onto the workpiece, with the liquid including water and ammonium hydroxide, and with the liquid forming a liquid layer on the workpiece; controlling the thi
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