최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0180408 (2002-06-24) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 39 인용 특허 : 19 |
Foamed thermoplastic polymeric mechanical planarization polishing pads ("MP pads") made with supercritical fluids are presented. A supercritical fluid foaming agent is dissolved in a thermoplastic polymer. A rapid change in the solubility and volume of the supercritical fluid foaming agent in the t
I claim: 1. A method of fabricating foamed thermoplastic polymeric mechanical planarization polishing pads using supercritical fluid, the method comprising: molding a solid thermoplastic polymer in a mechanical planarization polishing pad mold to form an unfoamed thermoplastic polymeric pad; impreg
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.