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Infrared thermopile detector system for semiconductor process monitoring and control 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
출원번호 US-0731355 (2003-12-09)
발명자 / 주소
  • Arno,Jose
출원인 / 주소
  • Advanced Technology Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Intellectual Property/Technology Law
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 24

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

대표청구항이 없습니다.

이 특허에 인용된 특허 (24)

  1. Pompei Francesco ; Ternullo Janus, Axillary infrared thermometer and method of use.
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  2. Guilbeau Eric J. (Tempe AZ) Towe Bruce C. (Mesa AZ), Implantable microelectronic biochemical sensor incorporating thin film thermopile.
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  3. Koskinen Yrjo (Helsinki FIX), Infrared detector with Fabry-Perot interferometer.
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  4. Tanaka Akio (Tokyo JPX), Infrared imaging device and infrared imaging system using same.
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  5. Mori Takehisa (Nakai JPX) Komatsu Kiyoshi (Nakai JPX), Infrared radiation sensor.
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  6. Endo Haruyuki,JPX, Infrared sensor and infrared detector.
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  7. Arno, Jose, Infrared thermopile detector system for semiconductor process monitoring and control.
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  8. Arno, Jose, Infrared thermopile detector system for semiconductor process monitoring and control.
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  9. Arno,Jose, Infrared thermopile detector system for semiconductor process monitoring and control.
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  10. Theodorus Simon Joseph Lammerink NL, Medium flow meter.
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  11. Wang Annie Q. (Pittsburgh PA), Method and apparatus for determining the concentration of a gas.
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  12. Tsuo Simon (Lakewood CO) Langford Alison A. (Boulder CO), Method and apparatus for removing and preventing window deposition during photochemical vapor deposition (photo-CVD) pro.
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  13. Sorensen Carl A. ; Blonigan Wendell T., Method of depositing a thin film using an optical pyrometer.
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  14. Wong Jacob Y., NDIR gas sensor.
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  15. Hong T. Sun ; Peter C. Hsi, Non-dispersive infrared gas sensor.
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  16. Wong Jacob Y., Passive and active infrared analysis gas sensors and applicable multichannel detector assembles.
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  17. Wong Jacob Y. (Goleta CA), Passive infrared analysis gas sensor.
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  18. Chavan, Abhijeet V.; Logsdon, James H.; Chilcott, Dan W.; Christenson, John C.; Speck, Robert K., Process for a monolithically-integrated micromachined sensor and circuit.
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  19. Canfield Eric L., Radiometric temperature measurement based on empirical measurements and linear functions.
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  20. Stetter Joseph R. (Naperville IL) Otagawa Takaaki (Solon OH), Selective chemical detection by energy modulation of sensors.
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  21. Honboh,Masahiro, Semiconductor device.
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  22. Braig James R. (Oakland CA) Goldberger Daniel S. (Boulder CO), Sidestream infrared gas analyzer requiring small sample volumes.
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  23. Haruyuki Endo JP; Takeshi Fuse JP; Tadashi Matsudate JP; Yasutaka Tanaka JP; Toshikazu Okada JP, Thermopile infrared sensor and process for producing the same.
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  24. Keenan William F. (Plano TX), Uncooled infrared detector and method for forming the same.
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이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Homan, Jeffrey J.; Arno, Jose I.; Sweeney, Joseph D., Apparatus and process for integrated gas blending.
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  2. Smith, James Robert; Czerniak, Michael Roger; Gibbins, Nigel James, Evacuation system alerts based on process tool systems bus monitoring.
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  3. Arno, Jose I., Monitoring system comprising infrared thermopile detector.
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  4. Rassel, Thorsten; Merz, Erich; Mahlmann, Martin, Optical imaging device.
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  5. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
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  6. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Clarke, Michael; Maenke, Dale; Wilkinson, Wiley James, System and method for non-intrusive thermal monitor.
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  7. Arno, Jose I.; Despres, Joseph R.; Letaj, Shkelqim; Lurcott, Steven M.; Baum, Thomas H.; Zou, Peng, TPIR apparatus for monitoring tungsten hexafluoride processing to detect gas phase nucleation, and method and system utilizing same.
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