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Method to improve transmittance of an encapsulating film 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/20
  • H01L-021/02
출원번호 US-0229015 (2005-09-15)
발명자 / 주소
  • Won,Tae Kyung
  • Yadav,Sanjay
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson & Sheridan LLP
인용정보 피인용 횟수 : 21  인용 특허 : 15

초록

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대표청구항

대표청구항이 없습니다.

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Shang Quanyuan ; Robertson Robert McCormick ; Law Kam S. ; Maydan Dan, Apparatus and method for white powder reduction in silicon nitride deposition using remote plasma source cleaning technology.
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  2. Okazaki Satiko,JPX ; Kogoma Masuhiro,JPX, Atmospheric pressure plasma reaction method of forming a hydrophobic film.
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  3. Klubek,Kevin P.; Liao,Liang Sheng; Tang,Ching W.; Vargas,J. Ramon, Cascaded organic electroluminescent devices.
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  4. Yamazaki Shunpei (Tokyo JPX), Electronic device with plural pad connection of semiconductor chip to leads.
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  5. Yamazaki, Shunpei; Konuma, Toshimitsu; Nishi, Takeshi, Film formation apparatus and film formation method.
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  6. Cook, Robert C.; Brors, Daniel L., High rate silicon nitride deposition method at low pressures.
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  7. Inukai, Kazutaka, Light emitting device.
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  8. Stephen R. Forrest ; Paul E. Burrows ; Vladimir S. Ban, Low pressure vapor phase deposition of organic thin films.
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  9. Ikeda Yasuo (Tokyo JPX), Method and apparatus for forming silicon oxide film by chemical vapor deposition.
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  10. Yang, Michael X.; Kao, Chien-Teh; Littau, Karl; Chen, Steven A.; Ho, Henry; Yu, Ying, Method of forming a silicon nitride layer on a substrate.
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  11. Maloney,David J.; Lee,Wai M.; Roman, Jr.,Paul J.; Fury,Michael A., Method of making barrier layers.
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  12. Chun, Tan Boon; Lin, Oon Su; Roitman, Daniel B.; Seaward, Karen L., Organic light emitting device with improved moisture seal.
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  13. Law Kam S. (Union City CA) Robertson Robert (Palo Alto CA) Lou Pamela (San Francisco CA) Kollrack Marc M. (Alameda CA) Lee Angela (Sunnyvale CA) Maydan Dan (Los Altos Hills CA), Plasma CVD of silicon nitride thin films on large area glass substrates at high deposition rates.
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  14. Hess Dennis W. (Walnut Creek CA) Brooks Todd A. (Mill Valley CA), Plasma enhanced chemical vapor deposition of thin films of silicon nitride from cyclic organosilicon nitrogen precursors.
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  15. Yamazaki, Shunpei; Hiroki, Masaaki; Ishimaru, Noriko, Thin film forming device, method of forming a thin, and self-light-emitting device.
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이 특허를 인용한 특허 (21)

  1. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S.; Thomas, Kurt, Faucet.
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  2. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  3. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  4. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  5. Brondum, Klaus, Faucet with wear-resistant valve component.
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  6. Chen, Jrjyan Jerry, Fluorine-containing plasma polymerized HMDSO for OLED thin film encapsulation.
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  7. Mahrize, Moshe, Method and device of diamond like carbon multi-layer doping growth.
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  8. Chen, Jrjyan Jerry; Choi, Soo Young, Method for hybrid encapsulation of an organic light emitting diode.
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  9. Chen, Jrjyan Jerry; Choi, Soo Young, Method for hybrid encapsulation of an organic light emitting diode.
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  10. Chen, Jrjyan Jerry; Choi, Soo Young, Method for hybrid encapsulation of an organic light emitting diode.
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  11. Jin, Jiangjiang; Hsu, Hsianglun, OLED display and manufacturing method thereof.
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  12. Oh, Min-Ho; Cho, Yoon-Hyeung; Kim, Yong-Tak; Lee, So-Young; Kim, Jong-Woo; Moon, Ji-Young, Organic electroluminescent device having thin film encapsulation structure and method of fabricating the same.
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  13. Oh, Min-Ho; Cho, Yoon-Hyeung; Kim, Yong-Tak; Lee, So-Young; Kim, Jong-Woo; Moon, Ji-Young, Organic electroluminescent device having thin film encapsulation structure and method of fabricating the same.
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  14. Oh, Min-Ho; Cho, Yoon-Hyeung; Kim, Yong-Tak; Lee, So-Young; Kim, Jong-Woo; Moon, Ji-Young, Organic electroluminescent device having thin film encapsulation structure and method of fabricating the same.
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  15. Oh, Min-Ho; Cho, Yoon-Hyeung; Kim, Yong-Tak; Lee, So-Young; Kim, Jong-Woo; Moon, Ji-Young, Organic electroluminescent device having thin film encapsulation structure and method of fabricating the same.
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  16. Goodner, Michael D.; Antonelli, George A., Silicon-doped carbon dielectrics.
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  17. Oh, Min-Ho; Cho, Yoon-Hyeung; Kim, Yong-Tak; Lee, So-Young; Cho, Sang-Hwan; Lee, Byoung-Duk; Jung, Sun-Young; Chung, Yun-Ah; Kim, Soo-Youn; Kim, Dong-Jin; Moon, Ji-Young; Song, Seung-Yong; Lee, Jong-Hyuk, Thin film encapsulation for flat panel display device and method of manufacturing thin film encapsulation structure.
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  18. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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  19. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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  20. Won, Tae K.; Campo, Jose Manuel Dieguez; White, John M.; Yadav, Sanjay, Water-barrier encapsulation method.
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  21. Won,Tae Kyung; Yadav,Sanjay, Water-barrier performance of an encapsulating film.
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