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MEMS fluidic actuator 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01L-007/08
  • G01L-007/02
출원번호 US-0120843 (2005-05-02)
발명자 / 주소
  • Kholwadwala,Deepesh K.
  • Johnston,Gabriel A.
  • Rohrer,Brandon R.
  • Galambos,Paul C.
  • Okandan,Murat
출원인 / 주소
  • Sandia Corporation
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 16

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

대표청구항이 없습니다.

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Maclean Brian J. (Daniel WY) Carpenter Bernard F. (Littleton CO) Misra Mohan S. (Golden CO), Adaptive control surface using antagonistic shape memory alloy tendons.
  2. Odderson, Ib R., Body supporting, serial inflating seat.
  3. Caton John Harold ; Hobey Michael James ; Groeneveld John David ; Jacobs Jack Howard ; Wille Robert Henry ; Brase ; Jr. Lawrence Otto, Control surface for an aircraft.
  4. Allen, Mark; Book, Wayne J.; Ebert-Uphoff, Imme; Glezer, Ari; Rosen, David W.; Rossignac, Jaroslaw R., Digital clay apparatus and method.
  5. Schmidt Robert N. ; Shaw Greg S., Fluid flow control devices.
  6. Tai, Yu-Chong; Yang, Xing; Grosjean, Charles, MEMS valve.
  7. Dhuler Vijayakumar R. ; Walters Mark David, Microactuators including a metal layer on distal portions of an arched beam.
  8. Goodwin-Johansson, Scott H.; McGuire, Gary E., Microelectromechanical flexible membrane electrostatic valve device and related fabrication methods.
  9. MacGugan, Douglas C., Miniature 3-dimensional package for MEMS sensors.
  10. Lazarus Kenneth B. (Boston MA) Crawley Edward F. (Cambridge MA), Multivariable adaptive surface control.
  11. Gilbert L. Benavides ; Paul C. Galambos ; John A. Emerson ; Kenneth A. Peterson ; Rachel K. Giunta ; Robert D. Watson, Packaging of electro-microfluidic devices.
  12. Vaughn Mark R. (Albuquerque NM) Constantineau Edward J. (Albuquerque NM) Groves Gordon E. (Tijeras NM), Reduced energy and volume air pump for a seat cushion.
  13. Appa Kari, Seamless mission adaptive control surface.
  14. Galambos, Paul C.; Okandan, Murat; Montague, Stephen; Smith, James H.; Paul, Phillip H.; Krygowski, Thomas W.; Allen, James J.; Nichols, Christopher A.; Jakubczak, II, Jerome F., Surface-micromachined microfluidic devices.
  15. Graebe Robert H. (St. Clair County IL), Vacuum/heat formed cushion with pyramidal, inflatable cells.
  16. Breed, David S.; Johnson, Wendell C.; Castelli, Vittorio; Seitz, William E.; DuVall, Wilbur E., Vehicle wireless sensing and communication system.

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Myers, Jeffrey Lynn, Actuator and method for producing mechanical motion.
  2. Minervini, Anthony D., Apparatus and method for reduced strain on MEMS devices.
  3. Kim, Jaeyoun, Elastomeric device for tunable imaging.
  4. Higashi, Kazushi; Ishitani, Shinji, Electronic element package and method of manufacturing the same.
  5. Rousseau, Benjamin; Bonnin, Thierry; Taboury, Jean; Mercier, Raymond; Perrot, Sylvain, Linear fluidic actuator.
  6. Okandan, Murat; Nielson, Gregory N., Optoelectronic system and apparatus for connection to biological systems.
  7. Wu, Chia-Che; Chen, Chi-Shao; Lin, Che-Yu; Chen, Fong-Zhi; Hsieh, Fan-Chun, Piezoelectric vacuum gauge and measuring method thereof.
  8. Miltenyi, Stefan; Hübel, Tanno; Nolle, Volker, Process for sorting cells by microfabricated components using a nuclease.
  9. Wigley, Alexander T., Shape shifting foils.
  10. Rebinsky, Douglas Alexander; Tian, Yong; Altin, Orhan; Liu, Xiaodong, Zinc oxide sulfur sensor measurement system.
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