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Semiconductor wafer position shift measurement and correction 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G05B-019/18
  • G03B-027/42
출원번호 US-0892697 (2004-07-15)
발명자 / 주소
  • Raaijmakers,Ivo
출원인 / 주소
  • ASM America, Inc.
대리인 / 주소
    Knobbe Martens Olson & Bear LLP
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 45

초록

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대표청구항

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이 특허에 인용된 특허 (45)

  1. Ota Kazuya,JPX, Alignment method and apparatus.
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  2. Thurfjell Henrik (Sunnyvale CA) Ozarski Robert G. (Livermore CA), Apparatus and process for positioning wafers in receiving devices.
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  3. Goddeau David (Palo Alto CA), Apparatus for aligning circular objects.
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  4. Curl, Barry J., Apparatus for determining with high resolution the position of edges of a web.
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  5. Sundar Satish, Apparatus for on-the-fly center finding and notch aligning for wafer handling robots.
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  6. Zinger Jan,NLX ; Haanstra Kornelius,NLX ; Schimmel Rudi,NLX, Apparatus for transferring a substantially circular article.
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  7. Schram ; deceased Richard R. (3140 Clybourn Ave. late of Northridge CA) Schram ; executor by Gary R. (3140 Clybourn Ave. Burbank CA 91505), Automated wafer inspection system.
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  8. Uga Masanori (Tokyo JPX), Automatic accurate alignment system.
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  9. Akamatsu Takahiro (Machida JPX) Kawashima Haruna (Kawasaki JPX) Kubo Hiroyoshi (Kawasaki JPX), Device for detecting the position of a surface.
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  10. Aoyama Masaaki (Yokohama) Shiraishi Naomasa (Urawa) Hattori Ken (Hara) Yamaguchi Atsushi (Fujisawa) Amano Kesayoshi (Tokyo JPX), Device for positioning circular semiconductor wafers.
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  11. Sueda Tetsuo (Chofu JPX) Ando Toshinori (Yokohama JPX), Document sheet size or position recognition device.
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  12. Frisbie Milo W. (Mesa AZ) McKinley Milton R. (Mesa AZ), Indexing apparatus.
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  13. Huynh Tac, Method and apparatus for determining the center and orientation of a wafer-like object.
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  14. Kaveh Farrokh, Method and apparatus for positioning substrates.
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  15. Rush John M. ; Andrews J. Randolph ; Collins Richard ; O'Carroll Conor Patrick ; Ou David, Method and apparatus for prealigning wafers in a wafer sorting system.
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  16. Nishi Kenji,JPX, Method and apparatus for the alignment of a substrate.
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  17. Hugues Jean B. (Tempe AZ) Weber Lynn (Saratoga CA) Herlinger James E. (Palo Alto CA) Nishikawa Katsuhito (San Jose CA) Schuman Donald L. (Saratoga CA) Yee Gary W. (Santa Clara CA), Method and apparatus for transferring wafers between cassettes and a boat.
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  18. Lu,Zhimin, Method and apparatus to correct water drift.
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  19. Spencer Robert M. (San Juan Capistrano CA) Lada Christopher O. (Palo Alto CA), Method and system for locating and positioning circular workpieces.
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  20. Sahoda Tsutomu,JPX ; Ueda Koji,JPX ; Miyamoto Hidenori,JPX ; Arikawa Toru,JPX, Method of and apparatus for transferring circular object.
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  21. Hrovath Julius G. (Houston TX), Misalignment sensor for a wafer feeder assembly.
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  22. Sundar Satish ; Ebbing Peter F., On the fly center-finding during substrate handling in a processing system.
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  23. Critchell Kenneth G. (Dover ID) Brown ; Jr. James M. (Sand Point ID), Portable sawmill.
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  24. Shimazaki Kazunori,JPX ; Yoshida Kiyoshi,JPX, Position difference detecting device and method thereof.
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  25. Moran Raymond D. (Springdale PA), Position sensor.
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  26. Adams Anthony Lionel (McKinney TX) Head ; III Claude Dedmond (Dallas TX), Semiconductor slice prealignment system.
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  27. Hams Kenneth A. (Nazareth PA), Skew detector.
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  28. Andrews J. Randolph, Software to determine the position of the center of a wafer.
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  29. Shmookler Simon (San Francisco CA) Weinberg Andrew G. (San Jose CA) McGrath Martin J. (Sunnyvale CA), System and method for automated positioning of a substrate in a processing chamber.
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  30. Cheng David (San Jose CA) Zhang Wesley W. (Burlingame CA), System and method for detecting the center of an integrated circuit wafer.
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  31. Galburt Daniel N. (Norwalk CT) Buckley Jere D. (Wilton CT), Universal edged-based wafer alignment apparatus.
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  32. Judell Neil H. (Jamaica Plain MA) Abbe Robert C. (Newton MA) Poduje Noel S. (Needham Heights MA) Mallory Roy (Bedford MA), Wafer alignment station.
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  33. Baker Gregory G. (Gig Harbor WA) Boyle Edward F. (Gig Harbor WA), Wafer centration device.
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  34. Coad George L. (Lafayette CA) Hutchinson Martin A. (Santa Clara CA) Shaw R. Howard (Palo Alto CA), Wafer coating system.
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  35. Miyazaki Makoto (Kawasaki JPX) Yomoda Minoru (Kawasaki JPX) Suzuki Takehiko (Yokohama JPX), Wafer conveying apparatus with alignment mechanism.
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  36. Tateyama Kiyohisa (Kumamoto JPX) Sakamoto Yasuhiro (Kumamoto JPX), Wafer conveyor apparatus and method for detecting inclination of wafer inside cassette.
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  37. Sato Mitsuya (Yokohama JPX) Imai Shunzo (Yamato JPX) Hiraga Ryozo (Kanaga JPX), Wafer handling apparatus and method.
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  38. Tam Johann (Saratoga CA) Ashjaee Jalal (Mountain View CA) Kuwaki Nobuo B. (San Jose CA) Ngo Tuan M. (Milpitas CA) Kung Susan W. (Oakland CA), Wafer handling apparatus and method.
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  39. Freerks Frederik W. ; Berken Lloyd M. ; Crithfield M. Uenia ; Schott David ; Rice Michael ; Holtzman Michael,ILX ; Reams William ; Giljum Richard ; Reinke Lance ; Booth John S., Wafer position error detection and correction system.
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  40. Berken Lloyd M. ; Freerks Frederik W. ; Jarvi William H. ; Sahin Hatice, Wafer positioning system.
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  41. Boyan Gerard E. (Redding CT) Maleri Enso J. (Bridgeport CT), Wafer prealigner using pulsed vacuum spinners.
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  42. Dimock Jack A. (Santa Barbara CA), Wafer processing machine.
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  43. Layman Frederick P. (Fremont CA) Huntley David A. (Mountain View CA) Dick Paul H. (San Jose CA) Coad George L. (Lafayette CA) Kuhlman Michael J. (Fremont CA) Vecta Roger M. (San Jose CA) Hobson Phill, Wafer processing system.
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  44. Hertel Richard J. (Bradford MA) Delforge Adrian C. (Rockport MA) Mears Eric L. (Rockport MA) MacIntosh Edward D. (Gloucester MA) Jennings Robert E. (Nethuen MA) Bhargava Akhil (Reading MA), Wafer transfer system.
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  45. Hertel Richard J. (Bradford MA) MacIntosh Edward D. (Gloucester MA), Wafer transfer system.
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이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. De Ridder, Christianus Gerardus Maria; Oosterlaken, Theodorus Gerardus Maria, Apparatus and method for transferring two or more wafers whereby the positions of the wafers can be measured.
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  2. Hosek, Martin, Manipulator auto-teach and position correction system.
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  3. Hirano, Makoto; Yamagishi, Norichika; Yoshida, Akihiro, Semiconductor manufacturing apparatus and manufacturing of a semiconductor device.
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  4. Rodnick, Matt; Allen-Blanchette, Christine, Systems and methods for calibrating end effector alignment in a plasma processing system.
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