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Method of growing homoepitaxial silicon carbide 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-023/00
출원번호 US-0047323 (2002-01-14)
발명자 / 주소
  • Lampert,William V.
  • Eiting,Christopher J.
  • Smith,Scott A.
  • Haas,Trice W.
출원인 / 주소
  • The United States of America as represented by the Secretary of the Air Force
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 12

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

대표청구항이 없습니다.

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. Schultz Peter G. ; Xiang Xiaodong ; Goldwasser Isy, Combinatorial synthesis of novel materials.
  2. Gruen Dieter M. (Downers Grove IL) Liu Shengzhong (Woodridge IL) Krauss Alan R. (Naperville IL) Pan Xianzheng (Woodridge IL), Diamond film growth from fullerene precursors.
  3. Sneed John D. (Long Beach CA) Krone-Schmidt Wilfried (Fullerton CA) Slattery Michael J. (Gardena CA) Bowen Howard S. (Los Angeles CA), Method for cleaning surface by heating and a stream of snow.
  4. Furukawa Katsuki (Sakai JPX) Tajima Yoshimitsu (Nara JPX) Suzuki Akira (Nara JPX), Method for growing a silicon carbide single crystal.
  5. Powell J. Anthony ; Larkin David J. ; Neudeck Philip G. ; Matus Lawrence G., Method for growth of crystal surfaces and growth of heteroepitaxial single crystal films thereon.
  6. Shewchun John (Burlington CA) King Fredrick David (Hamilton CA), Method of gas doping of vacuum evaporated epitaxial silicon films.
  7. Shiomi Hiromu,JPX ; Nishino Shigehiro,JPX, Method of making SiC single crystal and apparatus for making SiC single crystal.
  8. Kito Yasuo,JPX ; Kotanshi Youichi,JPX ; Onda Shoichi,JPX ; Hanazawa Tatuyuki,JPX ; Kitaoka Eiji,JPX, Method of producing single-crystal silicon carbide.
  9. Hamza Alex V. ; Balooch Mehdi ; Moalem Mehran, Process for forming silicon carbide films and microcomponents.
  10. Powell J. Anthony (North Olmsted OH), Process for the homoepitaxial growth of single-crystal silicon carbide films on silicon carbide wafers.
  11. Kitabatake Makoto,JPX, SiC device and method for manufacturing the same.
  12. Kitabatake Makoto,JPX ; Uchida Masao,JPX ; Takahashi Kunimasa,JPX, Silicon carbide substrate, and method for producing the substrate, and semiconductor device utilizing the substrate.
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