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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0902778 (2004-08-02) |
등록번호 | US-7261118 (2007-08-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 25 |
Vessel and method for the production and delivery of a precursor-containing fluid stream comprising the gaseous phase of a precursor material are disclosed herein. In one aspect, there is provided an vessel comprising: an interior volume wherein the interior volume is segmented into an upper volume
We claim: 1. A vessel for conveying a precursor-containing fluid stream from a precursor material, the vessel comprising: an interior volume wherein the interior volume is segmented into an upper volume and a lower volume wherein the upper volume and the lower volume are in fluid communication; a l
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