최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0736073 (2000-12-13) |
등록번호 | US-7270724 (2007-09-18) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 110 |
A scanning plasma reactor for exciting reactant gases at a substrate surface including a beam forming module, a gas injection module, a reaction chamber with a window and a vacuum chuck, a gas exhaust module. Radiation from the beam forming module and the reactant gas create an excited plasma zone.
What is claimed is: 1. A scanning plasma reactor for exciting or ionizing reactant gases with UV radiation at a stationary substrate surface comprising: a beam forming module to transform a UV radiation source raw output into a rectangular beam; a gas injection module to deliver at least one reacta
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.