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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0618791 (2003-07-14) |
등록번호 | US-7270868 (2007-09-18) |
우선권정보 | DE-102 31 729(2002-07-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 7 |
A component having a surface micromechanical structure containing both movable elements and immovable elements, and a method of manufacturing same are described. The surface micromechanical structure of the component is produced in a functional layer, which is connected to a substrate via at least o
What is claimed is: 1. A component, comprising: a functional layer; a surface micromechanical structure produced in the functional layer and including movable elements and immovable elements; at least one electrically non-conductive first insulation layer; at least one first sacrificial layer; an e
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