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특허 상세정보

Apparatus and process for refilling a bubbler

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F17D-001/16    F17D-001/00   
미국특허분류(USC) 137/014; 137/209; 261/053
출원번호 US-0061344 (2005-02-18)
등록번호 US-7278438 (2007-10-09)
우선권정보 EP-04003928(2004-02-20)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Flynn, Thiel, Boutell & Tanis, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 16
초록

In order to evaporate a liquid substance (3) and convey it to a user, a bubbler (1) is provided, into which a carrier gas (7) is conveyed. When a minimum level (4) has been reached, an exact quantity of the substance (3) is refilled from a reservoir tank (15). For this purpose, an intermediate tank (25) is provided, which is filled with an inert gas up to a pressure P1. An inert gas (21) is applied to the reservoir tank (15) at a pressure P2, higher than P1. The intermediate tank (25) is connected with the reservoir tank (15), as a result of which a spec...

대표
청구항

The invention claimed is: 1. Process for the refilling of at least one bubbler by providing an apparatus with a tank, which contains a liquid substance, and into which a carrier gas is conveyed via a carrier gas line, in order to evaporate the liquid substance, and convey it to a user via a supply line, with the following: a reservoir tank, filled with the liquid substance, projecting into which is an immersion tube, which is connected via a connection line with the bubbler, an inert gas line, connected to the gas chamber of the reservoir tank, with an ...

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Christopher S. Blatt ; Richard H. Pearce ; Graham Williams GB; Edward H. Wentworth, III. Automatic refill system for ultra pure or contamination sensitive chemicals. USP2002086435224.
  2. Fair David L. (Rockford IL). Bubbler container automatic refill system. USP1990124979545.
  3. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randtke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf H. Chemical refill system. USP1989084859375.
  4. Arai, Mayumi; Yamazaki, Yoshiyuki. Liquid supply system, method for cleaning the same and vaporizer. USP2003066581625.
  5. Yamazaki Masahiro (Yokohama JPX) Iizuka Shigeru (Yokohama JPX) Kamiya Shigemitsu (Kawasaki JPX) Oka Yoshiro (Yokohama JPX) Fujino Katsuhiro (Yokohama JPX). Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can. USP1987064676404.
  6. Nguyen Son T. ; Hendrickson Scott. Method and apparatus for generating controlled mixture of organic vapor and inert gas. USP2001116311959.
  7. Schmitt John Vincent. Method and apparatus for monitoring generation of liquid chemical vapor. USP1999105972117.
  8. Lynch Brian (Norcross GA) Narasimham Pundi L. (Norcross GA) Partus Fred P. (Marietta GA). Methods of and apparatus for vapor delivery control in optical preform manufacture. USP1986044582480.
  9. Partus Fred Paul. Methods of and systems for vapor delivery control in optical preform manufacture. USP2000126161398.
  10. Goossens Dirk (St. Niklass BEX). Modular bubbler container automatic refill system. USP1994015279338.
  11. Moriyama, Masashi; Yamahira, Yutaka; Matsuyama, Yuji. Processing liquid supply unit. USP1991075035200.
  12. Miyajiri, Tetsuo; Habasaki, Toshimi; Yokota, Hiroshi; Tsurita, Tamio; Nakahara, Motohiro. Raw material supply device. USP1985104545801.
  13. Scholz, Christoph. Storage vessel for liquid high-purity substances. USP2003096615851.
  14. Rodgers, Donald B.. System, apparatus and method for measuring and transferring the contents of a vessel. USP2003076588458.
  15. Partus Fred P. (Cobb County GA). Vapor delivery system and method of maintaining a constant level of liquid therein. USP1980114235829.
  16. McMenamin Joseph C. (Oceanside CA). Vapor mass flow control system. USP1984034436674.