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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0791926 (2004-03-02) |
등록번호 | US-7303703 (2007-12-04) |
우선권정보 | TW-92133432 A(2003-11-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 4 |
A system for nano-imprint with mold deformation detector is disclosed for real-time monitoring of the deformation of the mold. An electrostatic plate capacitor is embedded in the mold, serving as the deformation detector. The capacitor includes two opposite metal film electrodes formed by silicon mi
What is claimed is: 1. An apparatus for monitoring mold deformation in nano-imprint, comprising: a mold body having a first surface and an opposite second surface, imprinting patterns being formed in areas of the second surface; an electrostatic plate capacitor comprising first and second metal fil
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