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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0108619 (2005-04-17) |
등록번호 | US-7328727 (2008-02-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 26 |
A substrate container includes an enclosure and an access structure formed in the enclosure and providing fluid access through the enclosure to an interior of the substrate container. The access structure includes an opening and an inner surface. A grommet is situated against the inner surface of th
What is claimed is: 1. A method of purging a wafer container comprising the steps of: selecting a wafer container comprising: a grommet having a bore with an interior surface, the grommet being formed of an elastomeric material, the bore defining a fluid flow passage, an operational element situate
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