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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0484868 (2006-07-11) |
등록번호 | US-7345494 (2008-03-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 61 |
A tile used to hold one or more probes for testing a semiconductor wafer. The tile has one or more sites for inserting one or more probes to test the semiconductor wafer. Each site has one or more holes. Each hole is coupled with a slot forming an angle. A probe is inserted into the tile from a top
What is claimed is: 1. In a semiconductor wafer testing system where one or more probes are used to test a semiconductor wafer, comprising: a probe platform; at least one tile attached to the probe platform and configured in a matrix having an X-axis and an orthogonal Y-axis, the tile being used to
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