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Surface plasmon optic devices and radiating surface plasmon sources for photolithography 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G02B-006/26
  • G02B-006/42
출원번호 US-0494814 (2001-11-10)
등록번호 US-7359598 (2008-04-15)
국제출원번호 PCT/KR01/001921 (2001-11-10)
§371/§102 date 20041117 (20041117)
국제공개번호 WO03/042748 (2003-05-22)
발명자 / 주소
  • Kim,Dai Sik
  • Hohng,Sung Chul
  • Lienau,Christoph
  • Malyarchuck,Victor
  • Park,Jong Wan
  • Yoon,Yeo Chan
  • Ryu,Han Youl
  • Yoo,Kyeong Hwa
출원인 / 주소
  • Seoul National University Industry Foundation
대리인 / 주소
    Osha Liang LLP
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 13

초록

Disclosed is a surface plasmon optic device that has a periodic array of apertures in a dielectric substrate and a metal film formed on the dielectric substrate and emits light from metal-air interface. The surface plasmon optic device includes a surface plasmon generating apparatus, a surface plasm

대표청구항

What is claimed is: 1. A surface plasmon splitter, comprising: a dielectric substrate having a first surface and a second surface; an optically thick metal film having a first surface and a second surface, the first surface of the metal film being substantially contacted to the second surface of th

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Ebbesen Thomas W. ; Grupp Daniel E. ; Thio Tineke ; Lezec Henri J.,FRX, Enhanced optical transmission apparatus utilizing metal films having apertures and periodic surface topography.
  2. Thio, Tineke; Linke, Richard A.; Pellerin, Kelly M.; Ebbesen, Thomas W.; Lezec, Henri J., Enhanced optical transmission apparatus with improved aperture geometry.
  3. Kim Tae Jin ; Krishnan Ajit ; Thio Tineke ; Lezec Henri Joseph,FRX ; Ebbesen Thomas W.,FRX, Enhanced optical transmission apparatus with improved inter-surface coupling.
  4. Ebbesen Thomas W. ; Ghaemi Hadi F. ; Thio Tineke ; Wolff Peter A., Near-field scanning optical microscope having a sub-wavelength aperture array for enhanced light transmission.
  5. Blumberg,Girsh; Dennis,Brian S; Egorov,Dmitro M., Optical routers based on surface plasmons.
  6. Blumberg,Girsh; Dennis,Brian S; Egorov,Dmitro M., Optical routers based on surface plasmons.
  7. Blumberg,Girsh; Dennis,Brian S; Egorov,Dmitro M., Optical routers based on surface plasmons.
  8. Kim Tae Jin ; Thio Tineke ; Ebbesen Thomas Wren, Optical transmission control apparatus utilizing metal films perforated with subwavelength-diameter holes.
  9. Ballato,John; Carroll,David L.; Dimaio,Jeffrey R., Plasmon-photon coupled optical devices.
  10. Ballato,John; Carroll,David L.; Dimaio,Jeffrey R., Plasmon-photon coupled optical devices.
  11. Sarychev, Andrey K.; Shalaev, Vladimir M.; Dykhne, Alexander M.; Podolskiy, Viktor A., Plasmonic nanophotonics methods, materials, and apparatuses.
  12. Stuart, Howard Roy, Structure and method for processing optical energy.
  13. Ebbesen Thomas W. ; Ghaemi Hadi F. ; Thio Tineke ; Wolff Peter A., Sub-wavelength aperture arrays with enhanced light transmission.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Jin, Xuhui; Smyth, Joe; Dovek, Moris, 3-D self-focusing gap plasmon generator for TAMR.
  2. Craighead, Harold G.; Webb, Watt W.; Xu, Huizhong; Zhu, Pangshun, Extraordinary light transmission apparatus and method.
  3. Schellenberg, Franklin Mark; Bennett, Keith Edward, Method and system for nanopatterning.
  4. Schellenberg, Franklin Mark; Bennett, Keith Edward, Method for writing nanoscale patterns.
  5. Schellenberg, Franklin Mark; Bennett, Keith Edward, Nanolithography system.
  6. Layton, Phillip J., Optical antennas with enhanced fields and electron emission.
  7. Doerr, Christopher R., Optical coupler.
  8. Layton, Phillip J., Photo induced enhanced field electron emission collector.
  9. Layton, Phillip J., Photon induced enhanced field electron emission collector.
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